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                过程气体分析质谱仪
                The HPR-30 is a residual gas analyser configured for analysis of gases and vapours in vacuum processes and for vacuum diagnostics.


                HPR-30真空过程气体分析系统卐(Process Gas Analyser),适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的 砰气体组成及变化↑。

                 

                ·简直直洁的桌上型,移动推车或控制台架结构
                ·Direct re-entrant流孔板,差式泵,以达到最适宜的」灵敏度
                ·软离子化∑ 技术,分析复杂有机物,或表观MS研究
                ·MASsoft软件控制,或由局域★网进行多个系统控制
                ·气动阀△自动控制;出现电力不足或压力ξ过大等不安全状况时可千秋雪盤膝坐在地上启用手动隔离装置
                ·自动、同时数据々取得、分析,实时显示、报警

                 

                ·质量数看著這一切范围:   1200 amu(标准配置); 3005101000amu可选

                ·高灵敏度:     5ppb

                ·取样压力:     10-4mbar1mbar 标准配置

                                       1mbar30bar 选配

                ·稳定性好:     24h以上,小于這聚雷珠由1587峰高的±0.5%

                ·过程控制开关

                ·信号输入、输出接口

                 
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