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                PSM等离子体质量和能量分析质谱仪
                Hiden plasma probes measure some of the key plasma parameters and provide detailed information relating to plasma reaction chemistry.


                PSM是一台差〓式泵质谱仪(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等离子过规则发现他们程中的二次离子和中性粒子。

                 

                ·差式泵歧管,通过法兰与过程反应室连接

                ·电子附着选件,具有可调谐的离子源,用于表观〒电势MS
                ·Penning规和互锁装置可提供过压保◎护
                ·信号选通分辨率⊙1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间
                ·标准分析中〗性粒子、自由基,+ve / -ve 离子分析可选

                 

                ·灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆

                ·质量数范围:     0 ~ 2500amu

                ·脉冲离子计一旦服用无根之水数检测器,7个数量级的动态范围

                ·能量分析选件,标准 ±100eV1000eV可选

                ·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选, 高压操作可选
                ·通过RS232RS485Ethernet LAN ,软件MASsoft 控制

                 
                  应用介绍
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