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                  您现在的位因为带到他日你一尸成置: 北京英格海德分析技术有限公司 > 产品展示 > 等离子体-材料表面 > 等离子体刻蚀终当然点检测仪
                 
                 
                等离子体刻蚀生活终点检测仪
                The IMP-EPD is a differentially pumped, ruggedised secondary ion mass spectrometer for the analysis of secondary ions and neutrals from the ion beam etch process.

                IMP离子蚀刻探针(Ion Milling Probe),自ㄨ带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子。独上忍有的专业终点检测(End Point Detection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程质量最优化监测。

                 

                ·差式▲泵歧管,经连接法兰,接到过程室
                ·离子光学器件才发现里面,带能量分析器和内置离子源
                ·Penning规和互锁装置,以提供过压保护
                ·数据系统与过程控制工具整合

                 

                ·高灵敏度的 SIMS / MS,带脉冲离子计数检测器
                ·三级过滤四极杆,标准配置质量数为300amu
                ·稳定性(24h以上,峰高变化小》于 ±0.5%)
                ·通过 RS232RS485或以太网, 软件MASsoft控制
                ·程控DDE, 平行数接着他就离开了小山字式I/ORS232通讯

                 
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