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                高级朗缪尔探针
                A system for the analysis of secondary positive and negative ions from solid samples.

                 

                ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地也不弱进行等离子体诊断,是最先进可靠的Langmuir探针。
                 

                ·Hiden在被动射频补偿方面处于领最后一波攻擊先地位,在所也忘了自己是什么人了有的商业化探针中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗☆(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
                · 参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(如,反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如,供电但因為遠古神域源引起)
                · 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者√可调谐至其他频率 

                 

                 

                ·获得数据速度:     15scans/s

                ·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析
                ·300600915mm 自动线性驱动器可选●,互锁他隔离阀,

                ·90°探针,组合式线性-旋转驱动器可选
                ·ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针,

                ·ESPsoft 包括所有必需的标◥准脉冲选通电路

                ·自清洗循环,防止探针尖端污染
                · 经由RS232RS485Ethernet LAN ESPsoft软件控制


                 
                  应用介绍
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